 StartProductsPółprzewodnikowe elektroniczne materiały chemiczneElektroniczny specjalny gaz zawierający fluorowy gazAzot Trifluoride NF3 99,5%gazu trawienia w osoczu

skontaktować się z dostawcą

Mr. Edward Xu

Zostaw wiadomość

Skontaktuj się Now

Możesz polubić

Fluorkonek karbonylowy CF2O do środka chemicznego trawienia wody Skontaktuj się Now

Tetrafluorek siarki SF4 do trawienia w osoczu Skontaktuj się Now

Electronic Special Gas Special Sulphur Hexafluoride SF6 Skontaktuj się Now

Hydrogen o wysokiej czystości H2 elektroniczny specjalny gaz Skontaktuj się Now

Hexafluoroetan c2f6 high 5n dla półprzewodnika gazowego Skontaktuj się Now

Tungsten Hexafluoride WF6 Wysoki materiał półprzewodnikowy Skontaktuj się Now

Silikon Tetrafluoride SIF4 Chemical Specjalne gazy Skontaktuj się Now

Azot Trifluoride NF3 99,5%gazu trawienia w osoczu Skontaktuj się Now

 

Azot Trifluoride NF3 99,5%gazu trawienia w osoczu

$500

≥100
Gram

Rodzaj płatności:

L/C,T/T,Paypal

Min. Zamówienie:

100 Gram

Skontaktuj się Now

Opis Product

cechy produktu
Możliwość dostaw i dodatkowe informac...
Pakowanie i dostawa

< >

Overview

cechy produktu

Model No: Nitrogen trifluoride CAS: 7783-54-2

Możliwość dostaw i dodatkowe informac...

Rodzaj płatności: L/C,T/T,Paypal

Pakowanie i dostawa

Jednostki sprzedaży:: Gram

Azot trifluorek CA: 7783-54-2 NF3

99,5%gazu trawienia w osoczu

Wprowadzenie produktów

Trifluorek azotu (NF ₃ ) jest rodzajem bezbarwnego, bezwonnego i stabilnego gazu, jest również rodzajem silnego utleniacza. Przy normalnej temperaturze i ciśnieniu jego temperatura topnienia wynosi 206,8 ℃, temperatura wrzenia wynosi 129,0 ℃, nierozpuszczalna w wodzie. Trifluorek azotu w przemyśle mikroelektroniki jest rodzajem doskonałego gazu trawienia w osoczu, który jest pękany w aktywnym jonie fluorowym podczas procesu trawienia w osoczu. W przypadku trawienia w osoczu azotku krzemu i krzemowego stosowanie trifluorku azotu ma wyższą szybkość trawienia i selektywność niż stosowanie tetrafluorku węgla lub tetrafluorku i tlenu mieszanego tlenu, szczególnie w procesie trawienia zintegrowanego materiału obwodu o grubości mniejszej niż 1,5 μm, Trifluorek azotu ma doskonałą szybkość trawienia i selektywność, co więcej, nie ma zanieczyszczenia na powierzchni trawionego materiału, jest również dobrym środkiem czyszczącym.

Specyfikacja jakości

Project	Unit	index
（NF₃）≥	Vol.%	99.5	99.9	99.98	99.99	99.996
（CF₄）≤	Vol.ppm	1500	500	100	50	20
（N₂）≤	Vol.ppm	700	50	10	10	5
（O₂+Ar））≤	Vol.ppm	700	50	10	5	3
（CO）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（CO₂）≤	Vol.ppm	25	10	10	5	0.5
（N₂O）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（SF₆）≤	Vol.ppm	50	50	10	5	2
Hydrolyzable fluoride （Measured by HF）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1
（H₂O）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1

Aplikacja

Trifluorek azotu może być stosowany jako źródło fluoru o wysokiej energii chemicznej laserowej gazu i jako środek trawienia dla materiałów półprzewodnikowych, takich jak polisilikon, azotek krzemowy i krzemionek wolframowy. Może być również stosowany jako środek czyszczący do chemicznej komory osadzania pary i panelu LCD. Trifluorek azotu jest stosowany jako środek czyszczący dla pudełka CVD, który może zmniejszyć emisję zanieczyszczeń o 90% w porównaniu z perfluorokarbonami i znacznie poprawić prędkość czyszczenia i pojemność czyszczenia.

Opakowanie i przechowywanie

Trifluorek azotu jest wypełniony stalowym cylindrem bezprobatowym o objętości odpowiednio 8L, 40L, 43,3L i 47L. Model cylindra to DOT-3AA, GB 5099, ciśnienie cylindra wynosi 9,0-13,0 MPa. Specyfikacje opakowań można dostosować zgodnie z wymaganiami klientów.

Kategorie o produkcie : Półprzewodnikowe elektroniczne materiały chemiczne > Elektroniczny specjalny gaz zawierający fluorowy gaz

gorące produkty

Wyślij je do tym dostawcy

*Przedmiot:
*Do:

Mr. Edward Xu
*Email:
*wiadomość:

Twoja wiadomość musi być między 20-8000 znaków