Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Model No: Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6
Rodzaj płatności: L/C,T/T,Paypal
Hexafluoroetan CAS: 76-16-4 C2F6 High Purity
99,999% 5N dla półprzewodników gazowych
Wprowadzenie produktów
Hexafluoroetan (C 2 F 6 ), znany również jako perfluoroetan, jest rodzajem bezbarwnego, bezwonnego, nieskrępowalnego gazu obojętnego. Przy normalnej temperaturze i ciśnieniu jego temperatura topnienia wynosi 100,6 ℃, temperatura wrzenia wynosi 78,2 ℃, lekko rozpuszczalna w wodzie. Heksakfluoroetan jest wytwarzany przez reakcję R125 i gazu fluorowego, a następnie uzyskuje produkty klasy elektronicznej po oczyszczeniu i rektyfikacji. Ze względu na jego nietoksyczną, bezwonną i wysoką stabilność heksakfluoroetan jest szeroko stosowany w procesie produkcji półprzewodników. Heksakfluoroetan, jako suchy etapk, ma zalety bardzo małego trawienia po stronie krawędzi, wysokiego wskaźnika trawienia i wysokiej dokładności, które mogą spełniać wymagania procesu produkcji półprzewodników dla małej szerokości linii.
Specyfikacja jakości
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
C2F6 |
Vol.% |
≥99.999 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
H2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
Halohydrocarbon |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜2 |
|
Acidity（Measured by HF） |
Wt. ppm |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
Aplikacja
Heksafluoroetan klasy elektronicznej jest stosowany głównie w procesie produkcyjnym materiałów półprzewodnikowych i urządzeń półprzewodnikowych jako środka trawienia i środka czyszczącego, a także w gazie izolacyjnym i chłodziwa o wysokiej wytrzymałości dielektrycznej.
Opakowanie i przechowywanie
Heksakfluoroetan jest wypełniany cylindrami o wysokim ciśnieniu, który jest wyposażony w mosiężne zawory z pasującym złączem dla standardowych wymiennych złączek CGA typu 320. Specyfikacje opakowań można dostosować zgodnie z wymaganiami klientów.
Kategorie o produkcie : Półprzewodnikowe elektroniczne materiały chemiczne > Elektroniczny specjalny gaz zawierający fluorowy gaz
Strona mobilna
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.