Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Rodzaj płatności: L/C,T/T,Paypal
Incoterm: FOB,CIF,DDP
C4F6 CAS: 685-63-2 hexafluoro-1 3-butadiene 99,99% 4N
środek trawienia chipów
Użycie produktu
Hexafluoro-1,3-butadiene (c 4 f 6 ) jest rodzajem bezbarwnego, bezwonnego i nierozpuszczalnego gazu. Przy normalnej temperaturze i ciśnieniu jego temperatura topnienia wynosi 132,0 ℃, temperatura wrzenia wynosi 5,9 ℃. HEXAFLUORO-1,3-BUTADIEN jest rodzajem sprzężonych olefin, które zawierają sześć atomów fluorowych i dwa podwójne wiązanie węglowe, jako rodzaj doskonałego Gaz trawienia, ze względu na unikalny stosunek f/c, hexafluoro-1,3-butadienehas Wyższa selektywność trawienia, dokładność i współczynnik kształtu niż w przypadku tradycyjnego perfluorowanego nasyconego gazu fluorowęglowego, heksakfluoro-1,3-butadien Nawet węższy obwód elektroniczny. Ponadto C 4 F 6 ma wyższy selektywny stosunek azotku fotorezystów i krzemu niż C 4 F 8 , co może poprawić stabilność trawienia, szybkość trawienia i jednolitość, a tym samym poprawić jakość produktu.
Parametr produktu
|
Items |
Unit |
Index |
|
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
|
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
|
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
|
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
|
Measured by HF） |
Wt.ppm |
≤2 |
Aplikacja
Stosowane jako gaz do trawienia do trawienia w osoczu produktów półprzewodnikowych.
Opakowanie i przechowywanie
Hexafluoro-1,3-butadiena jest wypełniona stalowymi cylindrami z modelem B10, wielkości 14 cm × 83 cm, objętość wewnętrzna 10,1L, masa brutto 14,7 kg, ładunek 10 kg. Specyfikacje opakowań można dostosować zgodnie z wymaganiami klientów.
Kategorie o produkcie : Półprzewodnikowe elektroniczne materiały chemiczne > Materiały do trawienia półprzewodników/wafl
Strona mobilna
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.